三協(xié)半導體晶圓機器人SR8232-0002AAQ

 

       這幾天，修了一臺用于半導體晶圓上下料的Sankyo三協(xié)機器人本體SR8232-0002AAQ，以及控制柜SC3100。

 

Sankyo三協(xié)半導體晶圓機器人SR8232-0002AAQ

 

Sankyo三協(xié)半導體晶圓機器人SR8232-0002AAQ

 

Sankyo三協(xié)半導體晶圓機器人SR8232-0002AAQ

 

       半導體AMHS系統(tǒng)的三大核心設備：線邊密集庫（Stocker）、高速塔式提升機（Tower）、天車搬運系統(tǒng)（OHT），前開式晶圓傳送盒（FOUP）的高效平穩(wěn)運輸過程，可幫助半導體晶圓廠實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)條件下的高效、安全、無塵的全自動搬運和倉儲。機械手是半導體設備的重要零部件之一，主要應用于半導體制造的前段工序，用于搬送、運輸及定位晶圓。主要分為大氣機械手和真空機械手，其中大氣機械手市場占比超過60%。